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今天（7月5日）下午，工研院引育、投資的華研芯測項目首臺套設備——高通量納米掃描電鏡在巴城揭幕上線。昆山工研院董事長浦景松、總經(jīng)理唐杰、副總金洪建；巴城鎮(zhèn)黨委副書記、鎮(zhèn)長朱葉華，黨委副書記張利民，副鎮(zhèn)長劉莎莎；華研芯測創(chuàng)始人陳丹，執(zhí)行董事李國慶等出席活動。

巴城鎮(zhèn)黨委副書記、鎮(zhèn)長朱葉華代表鎮(zhèn)黨委、政府，對華研芯測首臺套設備揭幕上線表示熱烈祝賀，她表示，這是巴城企業(yè)在掌握“關鍵核心技術”上的勇敢探索，標志著巴城“首臺套”設備向半導體量檢測領域邁出了堅實的第一步，為巴城持續(xù)發(fā)展半導體集成電路產(chǎn)業(yè)增添了新動能，為昆山當好產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展縣域示范做出了巴城貢獻。祝愿華研芯測在半導體這條國家級賽道上成為量檢測設備的領跑者，不忘初心、穩(wěn)步前行，為巴城、昆山的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群建設貢獻更強、更大的力量。

昆山工研院總經(jīng)理唐杰表示，此次活動的揭幕，預示著巴城和工研院共同支持引進的華研芯測項目是成功的。希望項目在巴城這片創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)沃土上開花結果、做大做強！期待工研院和巴城在未來的合作上取得更大的突破，緊密團結、攜手共進！

華研芯測創(chuàng)始人陳丹、執(zhí)行董事李國慶分別對項目整體情況、高通量納米掃描電鏡做了簡要介紹。

活動上，巴城鎮(zhèn)黨委副書記、鎮(zhèn)長朱葉華，昆山工研院董事長浦景松，華研芯測創(chuàng)始人陳丹共同為首臺套半導體量檢測設備揭幕。

華研芯測半導體（蘇州）有限公司成立于2021年8月，注冊資本1000萬元，由美國硅谷高層次人才，國內(nèi)頂級半導體設備技術專家，運營管理人才創(chuàng)立的高技術企業(yè)，先后獲評昆山市雙創(chuàng)人才計劃、姑蘇創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)領軍人才計劃。項目主要從事半導體高通量掃描電鏡整機設備集成系統(tǒng)及服務研發(fā)，針對目前國內(nèi)“卡脖子”領域中的集成電路生產(chǎn)工藝前道量測、芯片成片檢測設計自主研發(fā)半導體制程自動化檢測系統(tǒng)的解決方案，給半導體晶圓廠、芯片設計單位、納米級檢測領域全面智慧賦能。

首臺套設備主要由兩部分組成，一是工業(yè)級高分辨率高速電子顯微鏡，二是搭載核心智能檢測算法的高性能大數(shù)據(jù)運算服務器。在不同檢測階段，設備可以根據(jù)客戶需求提供定制的附加服務。成像子系統(tǒng)能夠提供高通量數(shù)據(jù)集和材料科學等大數(shù)據(jù)輸出服務；超算子系統(tǒng)能夠提供高分數(shù)據(jù)處理算法服務、版圖比對分析服務和納米尺度科學數(shù)據(jù)分析服務；服務子系統(tǒng)能夠提供基于互聯(lián)的定制化數(shù)據(jù)算法服務和產(chǎn)品衍生算法服務。